Die kompakten Analysesysteme bestehen aus Einlasssystem, dem Massenspektrometer PrismaPro, der trockenverdichtenden Membranvakuumpumpe MVP und der Turbopumpe HiPace. Der Gaseinlass ist mit einer bis zu 350 °C beheizbaren Kapillare ausgestattet, die beim OmniStar aus Edelstahl und beim ThermoStar aus Quarzglas besteht. Das verhindert die Kondensation von Dämpfen während der Prozessgasanalyse.
Aufgrund des zweistufigen Einlasssystems soll laut Hersteller eine quasi entmischungsfreie Gaszuführung möglich sein. Mit der Massenspektrometersoftware PV MassSpec lassen sich dabei qualitative wie quantitative Analysen durchführen. Hierbei decken die Systeme die Massenbereiche 1 bis 100 amu, 1 bis 200 amu und 1 bis 300 amu ab.
Die wichtigsten Eigenschaften
Nachweisgrenze unter 100 ppb
farbiges 7-Zoll-Touch-Display oder Web User Interface
kundenspezifische Varianten möglich
kompakt und tragbar (rund 23 kg Gesamtgewicht)
Messzeit bis 1 ms/amu (Verweilzeit)
Die OmniStar- und ThermoStar-Geräte sollen voraussichtlich ab September 2019 lieferbar sein.