Modifizierte XL-Serie Hochvakuum-Eckventile für die Halbleiterindustrie

Wie alle Hochvakuum-Eckventile der XL-Serie von SMC sind auch die neuen Modelle mit einem Aluminiumgehäuse ausgestattet. Dieses verfügt über niedriges Gewicht, hohe Beständigkeit und die Resistenz gegenüber aggressiven Medien wie etwa Fluorgas. Dazu ergibt sich durch diethermischen Leitfähigkeit des Aluminiums eine weitgehend homogene Temperaturverteilung im Ventilkörper.

Dadurch werden Ablagerungen von Prozessgasen im Ventilinneren zum Großteil vermieden. Werden die Eckventile unter reinen Produktionsbedingungen eingesetzt, bietet Aluminium einen weiteren Vorteil gegenüber Stahl: Das Ventilgehäuse enthält keine Schwermetalle wie Nickel oder Chrom, daher entsteht nur eine minimale Kontamination der berührenden Medien.

Da Aluminium kaum ausgast, ist es beim Einsatz der neuen Eckventile der XL-Serie möglich, mit kleineren Vakuumpumpen zu arbeiten oder die Evakuierungszeiten zu verkürzen.

Geeignet für Halbleiterindustrie

Aufgrund dieser Features sind die Eckventile der XL-Serie nach Auffassung von Tobias Hartherz, Product Management bei SMC Deutschland vor allem für den Vorprozessen der Halbleiterindustrie geeignet. Konkret lassen sich hier die Sputter- und CVD-Anlagen sowie die Anlagen zum Ätzen und Plasmaätzen hervorheben.

Aber auch in der Nahrungsmittelindustrie und der Medizintechnik sieht er viele Anwendungsmöglichkeiten: „In Vakuum-Trockenschränken, Vakuum-Gefriertrocknungsanlagen, Sauerstoffreduzierungsanlagen oder Vakuum-Filtersystemen können die Eckventile der Serie XL ihre Stärken voll ausspielen.“

Zwei Dichtungsoptionen verfügbar

Durch die große Auswahl an Flanschgrößen in den Nennweiten von 16 bis 80 mm lassen sich die Eckventile der Serie XL flexibel integrieren. Als Dichtungsvariante können Anwender zwischen zwei Ausführungen wählen: Neben der Faltenbalgdichtung steht auch eine Variante mit O-Ringdichtung für kürzere Taktzeiten zur Verfügung.

Wer sich für die Eckventile mit Faltenbalgdichtung entscheidet, kann einen notwendigen Austausch leicht erledigen: Ein spezielles Austausch-Set enthält lediglich die Faltenbalg-Baugruppe. Der Pneumatikantrieb muss daher nicht mehr unbedingt mit ausgetauscht werden. Tests bei SMC haben gezeigt, dass die neu konzipierte Bauform eine Lebensdauer von bis zu 2 Millionen Zyklen erreichen kann, wenn die empfohlene Evakuierungsrichtung eingehalten wird. Getestet wurde ein Eckventil mit 80 mm Flanschgröße.

Mit Heizelement bis 150 °C einsetzbar

Optional können die Modelle der Serie XL mit einem Heizelement und einem hitzebeständigen Signalgeber bestellt werden, der eine zweifarbige Anzeige besitzt. In dieser Ausführung sind die Eckventile für Einsatztemperaturen bis 150 °C geeignet.