Nach einem Beschluss des Vorstands der Fraunhofer-Gesellschaft geht das Leistungszentrum „Funktionsintegration für die Mikro-/Nanoelektronik“ (kurz: Leistungszentrum Mikro/Nano) in die Verlängerung. Es bündelt die Kompetenzen von vier Mikroelektronik-Instituten der Fraunhofer-Gesellschaft sowie einschlägiger Institute an Universitäten und Hochschulen in Dresden und Chemnitz.
In den Jahren 2022 bis 2024 wird es zur Stärkung seiner Transferaktivitäten mit jährlich einer Millionen Euro aus Fraunhofer-Mitteln gefördert. Dabei wird es laufend evaluiert. Wenn zum Ende des Förderzeitraums eine positive Gesamtbewertung besteht, erfolgt eine Anschlussfinanzierung zur Weiterführung für eine nächste Dreijahresperiode.
Relevant für große Unternehmen und KMUs
In den Jahren 2016 bis 2021 wurden, auch mit Projektförderung für das Leistungszentrum durch den Freistaat Sachsen, gemeinsam institutsübergreifende Technologieplattformen entwickelt. Dabei richtet sich das Angebot nicht nur an die großen Unternehmen der Mikroelektronikindustrie sondern auch dezidiert an kleine und mittelständische Unternehmen (KMU). Letzteren wird durch die Bereitstellung von flexiblen Technologieplattformen ein niederschwelliges Angebot unterbreitet, um von Hochtechnologie zu profitieren, ohne selbst die investitionsintensiven Plattformen entwickeln zu müssen.
In der nun beginnenden Phase der Verstetigung wird der Fokus verstärkt auf den Transfer in die Industrie durch das Angebot von Forschungs- und Entwicklungsleistung unter Nutzung dieser Technologieplattformen liegen. Hierbei werden auch gezielt neue Formen der digitalen Präsentation, wie zum Beispiel ein virtueller Showroom zur Kundenansprache, verwendet.
„Das Leistungszentrum Mikro/Nano hat sich als wertvoller Partner der Industrie etabliert und transferiert systematisch neue Forschungsergebnisse hin zu neuen Produktentwicklungen und Anwendungen“, sagt der Koordinator des Leistungszentrums, Prof. Dr. Hubert Lakner vom Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS. Ein thematischer Schwerpunkt des Transferangebots des Leistungszentrums Mikro/Nano ist der Bereich der integrierten vernetzten Multisensorik für das industrielle Internet der Dinge (IIoT). Ferner bietet das Leistungszentrum eine Transferplattform für die Entwicklung und Nutzung mikromechanischer Ultraschallwandler (MUT) sowie eine Technologieplattform für die Prozessierung und das Wafer-Level-Packaging von 300-mm-Wafern. Das Angebot an Industriekunden reicht von der klassischen Auftragsforschung über die Bereitstellung von Demonstratoren und Prototypen bis hin zur Pilotfertigung.
Leistungszentren – Forschungstransfer über effektive Innovationsökosysteme
Leistungszentren organisieren den Schulterschluss der universitären und außeruniversitären Forschung mit der Wirtschaft. Universitäten, Hochschulen, Fraunhofer-Institute und gegebenenfalls weitere außeruniversitäre Forschungseinrichtungen arbeiten an einem Standort themenspezifisch mit Unternehmen und gesellschaftlichen Akteuren anwendungsnah zusammen, um Innovationen schnell in die Anwendung zu bringen.
Das Leistungszentrum Mikro/Nano vereint als regionales Innovationsökosystem Kompetenzen der vier Fraunhofer-Institute IPMS, ENAS, IIS/EAS und IZM-ASSID, ergänzt durch die einschlägige Expertise von Instituten der TU Dresden, TU Chemnitz und HTW Dresden. Gemeinsam erarbeiten Projektteams Lösungen für Partner und Kunden zu den folgenden Forschungs- und Entwicklungsthemen hoher Industrierelevanz:
Neue Materialien für neue Funktionalitäten
Modulare heterogene Wafersysteme
Plattform für Ultraschall-Sensorik
Optische Systeme/integrierte Spektrometer mit Nanostrukturen
Sensoren/Aktoren in Werkzeugen und Maschinen.
Ferner bietet das Leistungs-/Transferzentrum die Möglichkeit zur anwendungs- und kundenspezifischen Entwicklung und Pilotfertigung von Komponenten, Schaltungen und System-in-Package-(SiP-)Lösungen für Sensorik und Aktorik. So entstehen aus der Kooperation heraus institutsübergreifende Systemlösungen und –demonstratoren zur Sensorik/Aktorik für Industrie 4.0 und speziell für das industrielle Internet der Dinge (IIoT).
