Um eine Vakuumanlage mit hoher Präzision zu betreiben, muss der Totaldruck zuverlässig gemessen werden. Pfeiffer Vacuum bietet dazu drei Messgeräte-Baureihen an, eine mit digitalem und eine mit analogem Signalausgang sowie eine weitere, die sich für den Einsatz in Bereichen mit ionisierender Strahlung eignet.
Mit der Baureihe ActiveLine mit klassischem Analogausgang deckt der Hersteller nach wie vor das Gros der Anwendungen in der Industrie, aber auch Forschung und Entwicklung ab. Kunden können zwischen zahlreichen unterschiedlichen Messprinzipien für Utrahochvakuum bis hin zum Überdruckbereich wählen. Ein Alleinstellungsmerkmal darunter bildet eine Kaltkathodenmessröhre, das Modell IKR 270. Sie eignet sich für einen Messbereich bis 5 x 10-11 hPa. Dies funktioniert über die Ionisation der wenigen Gasmoleküle, die im Ultrahochvakuum noch vorliegen. Dazu wird eine hohe Spannung von etwa 3 kV angelegt. Die so ionisierten Teilchen werden über Permanentmagnete auf eine Spiralbahn und schließlich zur Kathode gelenkt.
Die ActiveLine-Geräte sind kompakt gebaut und lassen sich daher raumsparend in Vakuumprozessanlagen, analytische Instrumente, Lecksuchanlagen und zahlreiche weitere Anwendungen einbauen. Die Zuverlässigkeit der Geräte wird durch Eigendiagnose-Funktionen unterstützt. Die Messröhren kann der Anwender mit 1-, 2- und 6-Kanal-Steuergeräten kombinieren, wobei Installationsfehler durch eine automatische Transmittererkennung vermieden werden.
Bei den Totaldruckvakuumetern der neusten Baureihe DigiLine kann der Anwender dank des modularen Aufbaus für den Signalausgang digitale Schnittstellen nach Bedarf wählen. Die Transmitter besitzen standardmäßig eine RS-485-Schnittstelle. Zudem stehen über eine zweite Karte optional Profibus-DP-und DeviceNet-Schnittstellen zur Wahl. In großen Anlagen können Anwender somit die Digiline-Transmitter innerhalb eines Kommunikationsnetzes betreiben. Eine sogenannte AR-Schnittstelle, ein Analogausgang mit Relais, bietet weitere Möglichkeiten. Die im vergangenen Jahr komplett erneuerte Reihe ist besonders kompakt. Mit Piezo-, Pirani-, Heißkathoden- und Kaltkathoden-Sensoren deckt sie den kompletten, technisch relevanten Vakuumbereich von Grob- bis zu Ultrahochvakuum ab. Dank Schutzart IP54 und der Verwendung von M12-Steckverbindern kann man sie in rauen Umgebungen einsetzen.
Die dritte Baureihe, ModulLine, arbeitet mit Messröhren ohne Elektronik. Dadurch ist sie besonders für den Einsatz in Anwendungen mit hoher Strahlenbelastung geeignet, etwa in der Medizintechnik und in Teilchenbeschleunigern. Das Steuergerät dazu, das außerhalb der Anwendung platziert wird, ist ebenfalls individuell konfigurierbar. Es kann zwei Messkarten für bis zu vier Messröhren aufnehmen. Ein weiterer Steckplatz ermöglicht auch hier die Anbindung über serielle Schnittstelle, Relaiskontakt oder Feldbus. Die Sensorik für die ModulLine-Baureihe umfasst drei Pirani-Messröhren TPR mit einem Messbereich von 1.000 bis 8 x 10-4 hPa sowie drei Kaltkathoden-Messröhren IKR mit einem Messbereich von 5 x 10-3 bis 10-11 hPa.
Kurz gefasst
DigiLine: Transmitter mit digitalem Signalausgang, für den Einsatz in rauen Umgebungen, optional mit Feldbusschnittstelle
ActiveLine: Kostengünstige Transmitter mit Analogausgang, Steuergeräte mit automatischer Transmittererkennung
ModulLine: Passive Messröhren für den Einsatz
in Bereichen mit ionisierender Strahlung
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