Die vom Fraunhofer IPMS entwickelten Flächenlichtmodulatoren in Form von Mikrospiegelarrays beinhalten eine Vielzahl einzelner Mikrospiegel auf einem aktiven Halbleiterchip oder aber auf passiven Substraten (ohne integrierte On-Chip-Elektronik). Durch eine Auslenkung einzelner Spiegel aus der Ruhelage erfolgt eine ortsaufgelöste Modulation des Lichts, welche auf die Bauelemente-Oberfläche gelenkt wird.
Hauptanwendungsgebiete dieser Mikrospiegelarrays liegen in den Bereichen Mikrolithographie im tiefen Ultraviolett-Bereich, Herstellung von Leiterplatten (PCB), Halbleiterinspektion und -messtechnik sowie in der Augenheilkunde, der Astronomie, der Holografie und der Mikroskopie.
Die neueste Entwicklung des Fraunhofer IPMS ist ein CMOS-integriertes Mikrospiegelarray mit zwei Kippachsen pro Spiegel und zugehöriger Technologieplattform. Neben dem Einsatz in der Halbleiterindustrie ermöglicht die Innovation neuartige Methoden der Bildgebung in der Mikroskopie, vor allem für biomedizinische Anwendungen.
Realitätsnahe Holographie für ein sicheres Fahrerlebnis
Die Mikrospiegelarrays des Fraunhofer IPMS tragen auch zur Verkehrssicherheit bei. Derzeitige Head-up-Displays in Fahrzeugen können Elemente nur in einer festen Entfernung und in 2D darstellen, was dazu führt, dass der Fokus beim Fahren entweder auf dem projizierten Objekt oder der Straße liegt. Dies kann in unübersichtlichen Situationen gefährlich sein.
Mit den innovativen Mikrospiegelarrays des Fraunhofer IPMS soll in Zukunft eine computergenerierte Holographie erfolgen, die ein Lichtfeld generiert, dass reale und virtuelle Welt verschmelzen lässt – bewegt und in Echtzeit. Dabei sind Millionen kleinster Spiegel, auf einem Halbleiterchip aufgebaut, welche das Licht so beugen, dass realitätsgetreue 3D-Bilder als räumliche Projektionen entstehen. Diese fügen sich ohne Spezialbrille und ohne Ermüdungserscheinungen perfekt in die reale Welt ein und gewährleisten damit ein sicheres Fahrerlebnis.
Flächenlichtmodulatoren für Weltraumanwendungen
Erdbeobachtungsdaten werden immer wichtiger für unser Verständnis des Planeten und für die Bewältigung sozio-ökologischer Herausforderungen – beispielsweise im Bereich der Umweltüberwachung. Derzeit sind die Methoden für die Datenerfassung und -verarbeitung aus dem Weltall durch lange Aufnahmezeiten (bis zu mehrere Tage pro Messung), eine geringe räumliche Auflösung (circa 1 km) sowie den nutzbaren Spektralbereich (vor allem im Sichtbaren) begrenzt. Neuartige Kamerasysteme auf Basis von Flächenlichtmodulatoren können hier Abhilfe schaffen, welche innerhalb des EU-Projekts Suprise realisiert und getestet werden.
Das Fraunhofer IPMS trägt mit seiner langjährigen Expertise auf dem Gebiet der Flächenlichtmodulatoren bei und plant die Entwicklung eines weltraumtauglichen Flächenlichtmodulators. Hauptaufgaben sind die Mitarbeit an der Demonstratorentwicklung sowie die Erstellung einer Machbarkeitsstudie und Entwicklungs-Roadmap für einen ersten weltraumtauglichen Flächenmodulator (SLM), der vollständig in Europa entwickelt werden soll.
